半导体学报2005，Vol.26Issue(3)：601-605,5.
优化的基于模型的光学邻近矫正算法
Optimization Algorithm for Model-Based Optical Proximity Correction
摘要
关键词
光刻/光学邻近效应/基于模型的光学邻近矫正分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
蔡懿慈,王旸,周强,洪先龙..优化的基于模型的光学邻近矫正算法[J].半导体学报,2005,26(3):601-605,5.基金项目
国家自然科学基金资助项目(批准号:90307017) （批准号:90307017）
