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半导体学报
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SiCl4-SiH4-H2混合源的硅外延生长
SiCl4-SiH4-H2混合源的硅外延生长
汤广平
刘明登
全宝富
赵慕愚
半导体学报
Issue(6)：602,1.
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半导体学报
Issue(6)
：602,1.
SiCl4-SiH4-H2混合源的硅外延生长
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汤广平,刘明登,全宝富,赵慕愚..SiCl4-SiH4-H2混合源的硅外延生长[J].半导体学报,1986,(6):602,1.
半导体学报
ISSN：
1674-4926
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