光学精密工程2004，Vol.12Issue(6)：603-607,5.
真空微电子压力传感器的研制
Vacuum microelectronic pressure sensor
摘要
关键词
压力传感器/过载保护/场致发射阴极锥尖阵列/各向异性腐蚀分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
温志渝,温中泉,徐世六,刘玉奎,张正元,陈刚,杨国渝..真空微电子压力传感器的研制[J].光学精密工程,2004,12(6):603-607,5.基金项目
"863"MEMS重大专项(2002AA404080)资助课题 （2002AA404080）
教育部科学技术研究重大项目(0216)资助课题 （0216）
重庆市"十五"攻关项目资助课题 （）
微米/纳米加工技术国家重点实验室基金资助课题 （）
国防科技模拟集成电路实验室资助课题. （）
