电子学报2001，Vol.29Issue(5)：604-606,3.
室温工作双敏感膜HSGFET型O3传感器的研究
HSGFET Ozone Sensor with Dual Sensitive Layer Operating at Room Temperature
牛文成 1孙学珠 2吴小晔 1李华伟 1那兴波 1俞梅 1陈兴梧 2张福海 1谢建湘1
作者信息
- 1. 南开大学信息技术科学学院,
- 2. 天津大学精密仪器与光电子工程学院,
- 折叠
摘要
关键词
复合悬浮栅场效应管/功函数/双敏感膜/臭氧传感器分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
牛文成,孙学珠,吴小晔,李华伟,那兴波,俞梅,陈兴梧,张福海,谢建湘..室温工作双敏感膜HSGFET型O3传感器的研究[J].电子学报,2001,29(5):604-606,3.
