人工晶体学报2003,Vol.32Issue(6):605-609,5.
计算机控制CVD金刚石生长系统的研究
Research of Computer-controlled CVD Diamond Growth System
摘要
关键词
CVD金刚石/计算机控制/金刚石生长系统分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
朱胤,左敦稳,王珉,卢文状,宋胜利..计算机控制CVD金刚石生长系统的研究[J].人工晶体学报,2003,32(6):605-609,5.基金项目
国家自然科学基金 (50075039) (50075039)
国家自然科学基金(50275076) (50275076)
江苏省自然科学基金 (JH01-014 CVD)资助项目 (JH01-014 CVD)