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功率电子器件用AlN陶瓷基板的研制

崔嵩 黄岸兵 张浩

真空电子技术Issue(3)：60-63,4.
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真空电子技术Issue(3)：60-63,4.

功率电子器件用AlN陶瓷基板的研制

Aluminium Nitride Ceramic Substrates for Power Device

崔嵩 1黄岸兵 1张浩1

作者信息

  • 1. 华东微电子技术研究所,安徽,合肥,230022
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摘要

关键词

氮化铝陶瓷/烧结/平整性/热导率

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

崔嵩,黄岸兵,张浩..功率电子器件用AlN陶瓷基板的研制[J].真空电子技术,2002,(3):60-63,4.

真空电子技术

OACSTPCD

1002-8935

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