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低能电子诱导脱附的理论研究

张彤 毛福明

电子器件2000，Vol.23Issue(1)：60-66,7.
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电子器件2000，Vol.23Issue(1)：60-66,7.

低能电子诱导脱附的理论研究

Theoretical Study of Low Energy Electrons Induced Desorption

张彤 1毛福明1

作者信息

  • 1. 东南大学电子工程系,南京,210096
  • 折叠

摘要

关键词

位势/解吸/电子诱导脱附

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

张彤,毛福明..低能电子诱导脱附的理论研究[J].电子器件,2000,23(1):60-66,7.

基金项目

江苏省自然科学基金资助项目 （）

电子器件

OACSCD

1005-9490

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