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微氮硅中热施主和浅热施主的低温远红外研究

杨德仁 阙端麟

半导体学报Issue(8):608,1.
半导体学报Issue(8):608,1.

微氮硅中热施主和浅热施主的低温远红外研究

杨德仁 1阙端麟1

作者信息

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摘要

关键词

微氮硅/热施主/浅热施主/低温远红外

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

杨德仁,阙端麟..微氮硅中热施主和浅热施主的低温远红外研究[J].半导体学报,1995,(8):608,1.

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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