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Pd2Si的生成对Pd/Si多层膜衍射性能的影响

殷士龙 王兵 高琛 吴自勤 王晓平 赵特秀

ACTA PHYSICA SINICAIssue(4)：610-616,7.
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ACTA PHYSICA SINICAIssue(4)：610-616,7.

Pd2Si的生成对Pd/Si多层膜衍射性能的影响

殷士龙 1王兵 1高琛 1吴自勤 1王晓平 1赵特秀1

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殷士龙,王兵,高琛,吴自勤,王晓平,赵特秀..Pd2Si的生成对Pd/Si多层膜衍射性能的影响[J].ACTA PHYSICA SINICA,1993,(4):610-616,7.

ACTA PHYSICA SINICA

OA北大核心CSCD

1000-3290

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