无机材料学报2004，Vol.19Issue(3)：610-616,7.
连续离子层吸附与反应法(SILAR)生长ZnO多晶薄膜的研究
Deposition of Polycrystalline ZnO Thin Films by Successive Ionic Layer Adsorption and Reaction Process (SILAR)
摘要
关键词
ZnO/薄膜/连续离子层吸附与反应方法(SILAR)分类
数理科学引用本文复制引用
高相东,李效民,于伟东..连续离子层吸附与反应法(SILAR)生长ZnO多晶薄膜的研究[J].无机材料学报,2004,19(3):610-616,7.基金项目
国家"973"基金(2002CB613306) （2002CB613306）
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