传感技术学报2008，Vol.21Issue(4)：611-614,4.
一种新型MEMS微波功率传感器的设计与模拟
Design and Simulation of a Novel MEMS Microwave Power Sensor
摘要
关键词
MEMS/微波功率传感器/三明治结构/热传导/回波损耗分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
田涛,廖小平..一种新型MEMS微波功率传感器的设计与模拟[J].传感技术学报,2008,21(4):611-614,4.基金项目
国家自然科学基金资助项目(60676043) （60676043）
国家863项目资助(2007AA04Z328) （2007AA04Z328）
