材料科学与工程2000，Vol.18Issue(z2)：612-614,3.
分步偏压溅射法制备碳化硅薄膜
严辉 1谭利文 1宋雪梅 1王波 1陈光华 1姚振宇 2刘立明 2程业浩2
作者信息
- 1. 北京工业大学材料学院,北京,100022
- 2. 中国原子能科学研究院,北京,102413
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严辉,谭利文,宋雪梅,王波,陈光华,姚振宇,刘立明,程业浩..分步偏压溅射法制备碳化硅薄膜[J].材料科学与工程,2000,18(z2):612-614,3.基金项目
北京市青年科技骨干培养基金和北京市自然科学基金资助项目 （）
