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一种新场发射压力传感器阳极膜结构的模拟与测试

钱开友 颜丙勇 林仰魁 王芸 徐东 蔡炳初

传感技术学报2005，Vol.18Issue(3)：614-616,3.
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传感技术学报2005，Vol.18Issue(3)：614-616,3.

一种新场发射压力传感器阳极膜结构的模拟与测试

Simulation and Test of Novel Structure for Anode Film of Field Emission Pressure Sensors

钱开友 1颜丙勇 1林仰魁 1王芸 1徐东 1蔡炳初1

作者信息

  • 1. 薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海交通大学微纳米科学技术研究院,上海,200030
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摘要

关键词

场发射,压力传感器/阳极变形膜/计算机模拟

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

钱开友,颜丙勇,林仰魁,王芸,徐东,蔡炳初..一种新场发射压力传感器阳极膜结构的模拟与测试[J].传感技术学报,2005,18(3):614-616,3.

基金项目

上海市科技发展基金资助(0214nm031). （0214nm031）

传感技术学报

OA北大核心CSCD

1004-1699

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