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RE(La、Dy)/Si多层膜的结构研究

程国安 游琼玉 徐飞 肖志松 叶敦茹

材料科学与工程2000，Vol.18Issue(z2)：615-618,4.
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材料科学与工程2000，Vol.18Issue(z2)：615-618,4.

RE(La、Dy)/Si多层膜的结构研究

程国安 1游琼玉 1徐飞 1肖志松 1叶敦茹1

作者信息

  • 1. 南昌大学材料科学工程系
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摘要

关键词

多层膜/蒸发沉积

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程国安,游琼玉,徐飞,肖志松,叶敦茹..RE(La、Dy)/Si多层膜的结构研究[J].材料科学与工程,2000,18(z2):615-618,4.

材料科学与工程

OACSCDCSTPCD

1673-2812

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