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声学微机械技术

程永来

高技术通讯1995，Vol.5Issue(1)：61-62,52,3.
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高技术通讯1995，Vol.5Issue(1)：61-62,52,3.

声学微机械技术

Acoustic Micromachining Technique

程永来1

作者信息

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摘要

关键词

传声器/微机械技术

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

程永来..声学微机械技术[J].高技术通讯,1995,5(1):61-62,52,3.

高技术通讯

OACSCD

1002-0470

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