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热处理时间对透明导电膜结构与导电性能的影响

马颖

陕西科技大学学报(自然科学版)2005,Vol.23Issue(4):61-63,3.
陕西科技大学学报(自然科学版)2005,Vol.23Issue(4):61-63,3.

热处理时间对透明导电膜结构与导电性能的影响

THE EFFECTS OF ANNEALING TIME ON THE STRUCTURAL AND SHEET RESISTANCE OF ITO FILMS FROM X-RAY DIFFRACTION TECHNIQUES

马颖1

作者信息

  • 1. 陕西科技大学电气与电子工程学院,陕西,咸阳,712081
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摘要

关键词

ITO膜/热处理时间/X射线衍射分析/溶胶-凝胶法

分类

数理科学

引用本文复制引用

马颖..热处理时间对透明导电膜结构与导电性能的影响[J].陕西科技大学学报(自然科学版),2005,23(4):61-63,3.

基金项目

陕西省教育厅基金资助项目(No.03JK161) (No.03JK161)

陕西科技大学莲金资助项目(No.ZX04-34) (No.ZX04-34)

陕西科技大学学报(自然科学版)

2096-398X

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