金刚石与磨料磨具工程Issue(2)：61-64,4.
RBR控制在超大规模集成电路制造的化学机械抛光工艺中的应用
RBR control applied on chemical -mechanical polishing process in ULSI manufacturing
摘要
关键词
化学机械抛光/RBR控制/过程控制分类
矿业与冶金引用本文复制引用
李秀娟,金洙吉,康仁科,郭东明,苏建修..RBR控制在超大规模集成电路制造的化学机械抛光工艺中的应用[J].金刚石与磨料磨具工程,2006,(2):61-64,4.基金项目
国家自然科学基金重大项目资助(50390061),国家杰出青年科学基金资助(50325518) （50390061）
