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ZnO:Al透明导电膜制备工艺及其性能的研究

张媛媛 史永胜

陕西科技大学学报(自然科学版)2009,Vol.27Issue(3):61-64,4.
陕西科技大学学报(自然科学版)2009,Vol.27Issue(3):61-64,4.

ZnO:Al透明导电膜制备工艺及其性能的研究

STUDY OF THE PREPARATION AND PROPERTIES OF TRANSPARENT ANDCONDUCTIVE AZO THIN FILMS

张媛媛 1史永胜1

作者信息

  • 1. 陕西科技大学电气与信息工程学院,陕西,西安,710021
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摘要

关键词

AZO薄膜/溶胶-凝胶法/掺杂/光电性能

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

张媛媛,史永胜..ZnO:Al透明导电膜制备工艺及其性能的研究[J].陕西科技大学学报(自然科学版),2009,27(3):61-64,4.

基金项目

陕西省教育厅科技专项(07JK188),陕西科技大学博士基金项目 (07JK188)

陕西科技大学学报(自然科学版)

OACSTPCD

2096-398X

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