|国家科技期刊平台

首页|期刊导航|物理学报|管式等离子体化学气相沉积质量转换动力过程的研究

管式等离子体化学气相沉积质量转换动力过程的研究

刘祖黎朱大奇宋文栋陈俊芳

物理学报Issue(4)：617-622,6.

✕

物理学报Issue(4)：617-622,6.

管式等离子体化学气相沉积质量转换动力过程的研究

刘祖黎 ¹朱大奇 ¹宋文栋 ¹陈俊芳¹

作者信息

折叠

摘要

关键词

等离子体/化学气相沉积/质量/转换

分类

数理科学

引用本文复制引用

刘祖黎,朱大奇,宋文栋,陈俊芳..管式等离子体化学气相沉积质量转换动力过程的研究[J].物理学报,1992,(4):617-622,6.

物理学报

OA北大核心CSCD

ISSN：1000-3290

访问量0

|

下载量0

段落导航

相关论文

摘要
关键词
分类
引用文本