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硅片的抗弯强度及其测量

谢书银 石志仪

半导体学报Issue(8)：618,1.
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半导体学报Issue(8)：618,1.

硅片的抗弯强度及其测量

谢书银 1石志仪1

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摘要

关键词

半导体器件/硅片/抗弯强度/测量

分类

信息技术与安全科学

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谢书银,石志仪..硅片的抗弯强度及其测量[J].半导体学报,1995,(8):618,1.

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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