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可实现真空和气氛退火的高精度温控退火炉的研制

梁玲 顾牡 许伟群 陈玲燕

发光学报2002,Vol.23Issue(6):619-622,4.
发光学报2002,Vol.23Issue(6):619-622,4.

可实现真空和气氛退火的高精度温控退火炉的研制

Preparation of a Temperature-controlled Annealing Furnace with High Precision and the Debugging of the Temperature Control Program

梁玲 1顾牡 1许伟群 1陈玲燕1

作者信息

  • 1. 同济大学,玻耳固体物理研究所,上海,200092
  • 折叠

摘要

关键词

退火/可编程温度控制器/PID调节

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

梁玲,顾牡,许伟群,陈玲燕..可实现真空和气氛退火的高精度温控退火炉的研制[J].发光学报,2002,23(6):619-622,4.

基金项目

国家自然科学基金(19774043),上海市教育委员会重点学科研究项目和青年教师项目(01QN18) (19774043)

教育部高等学校优秀青年教师教学科研奖励计划(教人司(2002)123)和骨干教师资助计划项目 (教人司(2002)

发光学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-7032

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