四川大学学报（自然科学版）2008，Vol.45Issue(3)：619-622,4.
磁控溅射法制备纳米级ZnS薄膜及其性能研究
Study of Nano-magnitude ZnS thin films prepared by magnetron sputtering technique
摘要
关键词
ZnS/纳米级薄膜分类
数理科学引用本文复制引用
唐茜,黎兵,刘才,李愿杰,冯良桓,李卫..磁控溅射法制备纳米级ZnS薄膜及其性能研究[J].四川大学学报（自然科学版）,2008,45(3):619-622,4.基金项目
国家自然科学基金(60506004) （60506004）
国家高技术研究与发展计划(2003 AA513010) （2003 AA513010）
