传感技术学报2008，Vol.21Issue(4)：619-623,5.
工业化硅微机械电容式麦克风的设计与性能计算
Design of Industrial Silicon Condenser Micromachined Microphone and Its Performance Calculation
摘要
关键词
硅微机械电容式麦克风/三层复合膜/带孔的铜底板/动态特性分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
董健..工业化硅微机械电容式麦克风的设计与性能计算[J].传感技术学报,2008,21(4):619-623,5.基金项目
浙江省自然科学基金资助(Y107445) （Y107445）
