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锗硅脊形光波导Y分支器的模拟及试制

潘姬 赵鸿麟 杨恩泽

半导体学报Issue(1)：62,1.
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半导体学报Issue(1)：62,1.

锗硅脊形光波导Y分支器的模拟及试制

潘姬 1赵鸿麟 1杨恩泽1

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摘要

关键词

光波导/Y分支器/锗硅合金/模拟

分类

信息技术与安全科学

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潘姬,赵鸿麟,杨恩泽..锗硅脊形光波导Y分支器的模拟及试制[J].半导体学报,1995,(1):62,1.

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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