传感技术学报2008，Vol.21Issue(4)：624-627,4.
MEMS版图抽取及系统级模型自动构建技术
Layout Extraction and System-Level Modeling Automatically for MEMS Device
摘要
关键词
MEMS CAD/工艺级/系统级/抽取分类
机械制造引用本文复制引用
谢志雄,苑伟政,常洪龙,徐景辉,谢建兵..MEMS版图抽取及系统级模型自动构建技术[J].传感技术学报,2008,21(4):624-627,4.基金项目
863计划资助项目(2006AA04Z306) （2006AA04Z306）
