华中科技大学学报（自然科学版）2007，Vol.35Issue(12)：62-64,3.
精密直线电机气浮轴承参数辨识
Identification of air-bearing parameters of precision linear motors
摘要
关键词
精密直线电机/气浮轴承/参数辨识/有限元方法分类
通用工业技术引用本文复制引用
余显忠,陈学东,何学明,姜伟..精密直线电机气浮轴承参数辨识[J].华中科技大学学报（自然科学版）,2007,35(12):62-64,3.基金项目
国家重点基础研究发展计划资助项目 (2003CB716206) （2003CB716206）
国家自然科学基金资助项目 (50605025). （50605025）
