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极值点提取法在芯片翘曲度测量中的应用

陈凡秀 何小元

测控技术2007，Vol.26Issue(9)：62-64,3.
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测控技术2007，Vol.26Issue(9)：62-64,3.

极值点提取法在芯片翘曲度测量中的应用

Application of the Extreme Point Extraction Method for Measuring the Warpage of Mobile-Phone Chip

陈凡秀 1何小元2

作者信息

  • 1. 青岛理工大学,理学院,山东,青岛,266033
  • 2. 东南大学,MEMS教育部重点实验室,江苏,南京,210096
  • 折叠

摘要

关键词

牛顿环法/翘曲度/极值点提取/条纹图

分类

化学化工

引用本文复制引用

陈凡秀,何小元..极值点提取法在芯片翘曲度测量中的应用[J].测控技术,2007,26(9):62-64,3.

基金项目

国家自然科学基金(10472026)以及国家重点基础研究专项经费(2006CB300404)资助项目 （10472026）

测控技术

OACSCDCSTPCD

1000-8829

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