红外技术2007,Vol.29Issue(11):627-629,3.
射频溅射CdTe薄膜结构特性分析
Structural Analysis of RF Magnetron Sputtered CdTe Films
摘要
关键词
射频磁控溅射/非晶CdTe薄膜/XRD/卢瑟福散射理论分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
孔令德,孔金丞,赵俊,张鹏举,李雄军,李竑志,王善力,姬荣斌..射频溅射CdTe薄膜结构特性分析[J].红外技术,2007,29(11):627-629,3.基金项目
国家自然科学基金(60576069) (60576069)
云南省自然科学基金面上项目(2004E0055M) (2004E0055M)