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射频溅射CdTe薄膜结构特性分析

孔令德 孔金丞 赵俊 张鹏举 李雄军 李竑志 王善力 姬荣斌

红外技术2007,Vol.29Issue(11):627-629,3.
红外技术2007,Vol.29Issue(11):627-629,3.

射频溅射CdTe薄膜结构特性分析

Structural Analysis of RF Magnetron Sputtered CdTe Films

孔令德 1孔金丞 1赵俊 1张鹏举 1李雄军 1李竑志 1王善力 1姬荣斌1

作者信息

  • 1. 昆明物理研究所,云南,昆明,650023
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摘要

关键词

射频磁控溅射/非晶CdTe薄膜/XRD/卢瑟福散射理论

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

孔令德,孔金丞,赵俊,张鹏举,李雄军,李竑志,王善力,姬荣斌..射频溅射CdTe薄膜结构特性分析[J].红外技术,2007,29(11):627-629,3.

基金项目

国家自然科学基金(60576069) (60576069)

云南省自然科学基金面上项目(2004E0055M) (2004E0055M)

红外技术

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-8891

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