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ULSI中铜互连及其可靠性的研究与进展

郝跃 邵波涛 马晓华 韩晓亮 王剑屏

西安电子科技大学学报（自然科学版）2005，Vol.32Issue(4)：627-633,7.
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西安电子科技大学学报（自然科学版）2005，Vol.32Issue(4)：627-633,7.

ULSI中铜互连及其可靠性的研究与进展

State of the arts Cu interconnect and its reliability in ULSI

郝跃 1邵波涛 1马晓华 1韩晓亮 1王剑屏2

作者信息

  • 1. 西安电子科技大学,微电子研究所,陕西,西安,710071
  • 2. 中芯国际集成电路制造有限公司,上海,201203
  • 折叠

摘要

关键词

铜互连/基本可靠性单元/可靠性技术

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

郝跃,邵波涛,马晓华,韩晓亮,王剑屏..ULSI中铜互连及其可靠性的研究与进展[J].西安电子科技大学学报（自然科学版）,2005,32(4):627-633,7.

基金项目

国家"863"计划资助项目(2003AA1Z1630) （2003AA1Z1630）

西安电子科技大学学报（自然科学版）

OA北大核心CSCD

1001-2400

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