南京理工大学学报2002，Vol.26Issue(6)：632-636,5.
用于微振动测量的微型迈克尔逊干涉仪的构建
The Construction of Microstructure Michelsons Interferometer for Micro-vibration Measurement
摘要
关键词
迈克尔逊干涉仪/振动传感器/微振动测量分类
机械制造引用本文复制引用
孟迎军,华敏..用于微振动测量的微型迈克尔逊干涉仪的构建[J].南京理工大学学报,2002,26(6):632-636,5.基金项目
国防科技预研行业基金资助项目 （）
