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ECR-CVD法制备BN薄膜

张生俊 崔贲涛 王波 严辉 陈光华

材料科学与工程2000，Vol.18Issue(z2)：633-636,4.
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材料科学与工程2000，Vol.18Issue(z2)：633-636,4.

ECR-CVD法制备BN薄膜

张生俊 1崔贲涛 1王波 1严辉 1陈光华1

作者信息

  • 1. 北京工业大学材料学院,北京,100022
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摘要

关键词

电子回旋共振 cBN 薄膜

引用本文复制引用

张生俊,崔贲涛,王波,严辉,陈光华..ECR-CVD法制备BN薄膜[J].材料科学与工程,2000,18(z2):633-636,4.

基金项目

国家自然科学基金,北京市自然科学基金,北京市科技新星计划和北京市科技骨干培养基金资助项目 （）

材料科学与工程

OACSCDCSTPCD

1673-2812

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