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合成硼碳氮体系薄膜的XPS研究

雷明凯 袁力江 张仲麟

无机材料学报1999，Vol.14Issue(4)：635,1.
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无机材料学报1999，Vol.14Issue(4)：635,1.

合成硼碳氮体系薄膜的XPS研究

雷明凯 1袁力江 2张仲麟3

作者信息

  • 1. 大连理工大学材料工程系
  • 2. 大连理工大学三束材料改性国家重点联合实验室
  • 折叠

摘要

关键词

硼碳氮薄膜/等离子体源/离子渗氮/XPS/薄膜

分类

数理科学

引用本文复制引用

雷明凯,袁力江,张仲麟..合成硼碳氮体系薄膜的XPS研究[J].无机材料学报,1999,14(4):635,1.

无机材料学报

OA北大核心CSCDSCI

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