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β-FeSi2/Si薄膜位向关系的计算

朱玉满 张文征 叶飞

材料科学与工程学报2003,Vol.21Issue(5):635-639,5.
材料科学与工程学报2003,Vol.21Issue(5):635-639,5.

β-FeSi2/Si薄膜位向关系的计算

Study of Orientation Relationship between β-FeSi2 Thin Film and Si Substrate

朱玉满 1张文征 1叶飞1

作者信息

  • 1. 清华大学材料系,北京,100084
  • 折叠

摘要

关键词

取向关系/界面结构/Δg平行法则/CCSL模型/β-FeSi2薄膜/Si衬底

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

朱玉满,张文征,叶飞..β-FeSi2/Si薄膜位向关系的计算[J].材料科学与工程学报,2003,21(5):635-639,5.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(50271035). (50271035)

材料科学与工程学报

OACSCD

1673-2812

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