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测量InSb器件PN结深度的有效方法--阳极氧化法

吴云天

陕西科技大学学报(自然科学版)2003,Vol.21Issue(3):63-65,3.
陕西科技大学学报(自然科学版)2003,Vol.21Issue(3):63-65,3.

测量InSb器件PN结深度的有效方法--阳极氧化法

AN EFFECTIVE WAY TO MEASURE THE DEPTH OF PN JUNCTION IN InSb PARTS --POSITIVE POLE QXIDATION

吴云天1

作者信息

  • 1. 陕西科技大学计算机与信息工程学院,陕西,咸阳,712081
  • 折叠

摘要

关键词

阳极氧化法/InSb/PN结深度

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

吴云天..测量InSb器件PN结深度的有效方法--阳极氧化法[J].陕西科技大学学报(自然科学版),2003,21(3):63-65,3.

陕西科技大学学报(自然科学版)

OACSTPCD

2096-398X

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