光学精密工程1999，Vol.7Issue(5)：63-66,4.
准分子激光刻蚀技术在微机械中的应用研究
Application of the Excimer Laser Etching Technology in Micromachine
摘要
关键词
准分子激光/直接刻蚀/微机械零件分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
梁静秋,姚劲松..准分子激光刻蚀技术在微机械中的应用研究[J].光学精密工程,1999,7(5):63-66,4.基金项目
本课题由国家攀登计划B和吉林大学集成光电子学国家重点联合实验室资助 （）
