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溶胶-凝胶法在碳化硅表面浸涂氧化铝薄膜的研究

张庆勇 王浩

硅酸盐通报2002,Vol.21Issue(2):63-66,4.
硅酸盐通报2002,Vol.21Issue(2):63-66,4.

溶胶-凝胶法在碳化硅表面浸涂氧化铝薄膜的研究

Study of Al2O3 Flim on the Surface of SiC by Sol-Gel Method

张庆勇 1王浩2

作者信息

  • 1. 武汉理工大学陶瓷研究所,武汉,430070
  • 2. 武汉理工大学材料学院,武汉,430070
  • 折叠

摘要

关键词

溶胶-凝胶法 Al2O3薄膜 碳化硅

分类

化学化工

引用本文复制引用

张庆勇,王浩..溶胶-凝胶法在碳化硅表面浸涂氧化铝薄膜的研究[J].硅酸盐通报,2002,21(2):63-66,4.

硅酸盐通报

OACSCDCSTPCD

1001-1625

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