红外与毫米波学报2003,Vol.22Issue(1):63-67,5.
提高深度剖析拉曼光谱的纵向分辨能力
RESOLUTION IMPROVEMENT OF RAMAN DEPTH PROFILE
徐晓轩 1林海波 1武中臣 1杨延勇 2朱箭 3张存洲 1张光寅1
作者信息
- 1. 南开大学光子学中心,天津,300071
- 2. 英国RENISHAW公司
- 3. 南开大学物理科学学院,天津,300071
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摘要
关键词
共焦显微拉曼光谱仪/深度剖析/激光晶化/微晶硅薄膜分类
机械制造引用本文复制引用
徐晓轩,林海波,武中臣,杨延勇,朱箭,张存洲,张光寅..提高深度剖析拉曼光谱的纵向分辨能力[J].红外与毫米波学报,2003,22(1):63-67,5.