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提高深度剖析拉曼光谱的纵向分辨能力

徐晓轩 林海波 武中臣 杨延勇 朱箭 张存洲 张光寅

红外与毫米波学报2003,Vol.22Issue(1):63-67,5.
红外与毫米波学报2003,Vol.22Issue(1):63-67,5.

提高深度剖析拉曼光谱的纵向分辨能力

RESOLUTION IMPROVEMENT OF RAMAN DEPTH PROFILE

徐晓轩 1林海波 1武中臣 1杨延勇 2朱箭 3张存洲 1张光寅1

作者信息

  • 1. 南开大学光子学中心,天津,300071
  • 2. 英国RENISHAW公司
  • 3. 南开大学物理科学学院,天津,300071
  • 折叠

摘要

关键词

共焦显微拉曼光谱仪/深度剖析/激光晶化/微晶硅薄膜

分类

机械制造

引用本文复制引用

徐晓轩,林海波,武中臣,杨延勇,朱箭,张存洲,张光寅..提高深度剖析拉曼光谱的纵向分辨能力[J].红外与毫米波学报,2003,22(1):63-67,5.

红外与毫米波学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1001-9014

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