光学精密工程2007，Vol.15Issue(1)：63-68,6.
高增益PID控制器实现纳米定位
High-gain PID controller for nanometer positioning
摘要
关键词
滚珠丝杠/PID控制器/纳米定位/摩擦分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
卢礼华,郭永丰,大刀川博之,梁迎春,下河边明..高增益PID控制器实现纳米定位[J].光学精密工程,2007,15(1):63-68,6.基金项目
日本东京工业大学资助项目 （）
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