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一种基于微加工技术的微型电场传感器的设计与制造

陶虎 彭春荣 陈贤祥 白强 陈绍凤 夏善红

电子器件2006，Vol.29Issue(3)：639-642,4.
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电子器件2006，Vol.29Issue(3)：639-642,4.

一种基于微加工技术的微型电场传感器的设计与制造

Design and Fabrication of a Miniature Electric Field Sensor Based on Microfabricaton Technology

陶虎 1彭春荣 2陈贤祥 1白强 2陈绍凤 1夏善红2

作者信息

  • 1. 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100080
  • 2. 中国科学院研究生院,北京,100039
  • 折叠

摘要

关键词

电场传感器/微加工技术/压电陶瓷

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

陶虎,彭春荣,陈贤祥,白强,陈绍凤,夏善红..一种基于微加工技术的微型电场传感器的设计与制造[J].电子器件,2006,29(3):639-642,4.

基金项目

国家自然科学基金课题资助"多功能微传感器芯片系统集成技术研究"(90207006) （90207006）

电子器件

OACSTPCD

1005-9490

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