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准LIGA工艺技术在加工微金属齿轮中的应用

姚劲松

光学精密工程Issue(3)：64,1.
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光学精密工程Issue(3)：64,1.

准LIGA工艺技术在加工微金属齿轮中的应用

姚劲松1

作者信息

  • 1. 中国科学院长春光学精密机械研究所，长春130021;中国科学院长春光学精密机械研究所，长春130021
  • 折叠

摘要

关键词

微型机械/LIGA工艺/准LIGA工艺/微齿轮

分类

机械制造

引用本文复制引用

姚劲松..准LIGA工艺技术在加工微金属齿轮中的应用[J].光学精密工程,1995,(3):64,1.

基金项目

国家自然科学基金委基金 （）

光学精密工程

OACSCD

1004-924X

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