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InP中的Be、P共注入及其退火特性研究

张永刚 富小妹 潘慧珍

半导体学报Issue(8)：641,1.
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半导体学报Issue(8)：641,1.

InP中的Be、P共注入及其退火特性研究

张永刚 1富小妹 1潘慧珍1

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张永刚,富小妹,潘慧珍..InP中的Be、P共注入及其退火特性研究[J].半导体学报,1989,(8):641,1.

半导体学报

OACSCD

1674-4926

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