无机材料学报2004，Vol.19Issue(3)：641-646,6.
衬底温度对ZnO薄膜生长过程及微观结构的影响研究
Effect of Substrate Temperature on the Deposition Process and Microstructure of ZnO Films Grown by Ultrasonic Spray Pyrolysis Method
摘要
关键词
氧化锌/薄膜/超声雾化热分解分类
数理科学引用本文复制引用
边继明,李效民,高相东,于伟东..衬底温度对ZnO薄膜生长过程及微观结构的影响研究[J].无机材料学报,2004,19(3):641-646,6.基金项目
国家"973"基金(2002CB613306) （2002CB613306）
上海市科技发展基金(022261035) （022261035）
