大连理工大学学报2002，Vol.42Issue(6)：644-648,5.
阴极弧电流对TiN及(TiTa)N薄膜结构和性能影响
Influences of cathode arc current on microstructures and properties of TiN and (TiTa)N coatings
摘要
关键词
微观结构/显微硬度/电弧离子镀/阴极弧电流/TiN薄膜/(TiTa)N薄膜分类
矿业与冶金引用本文复制引用
刘燕燕,白晓,林国强,张庆瑜..阴极弧电流对TiN及(TiTa)N薄膜结构和性能影响[J].大连理工大学学报,2002,42(6):644-648,5.基金项目
国家自然科学基金资助项目(50071017). （50071017）
