物理学报2008，Vol.57Issue(10)：6450-6456,7.
半圆形容器等离子体源离子注入过程中离子动力学的两维PIC计算机模拟
Two-dimensional particle-in-cell simulation of the ion sheath dynamics in plasma source ion implantation of a hemispherical bowl-shaped target
摘要
关键词
等离子体源离子注入/鞘层/两维panicle-in-cell方法/离子运动轨迹分类
数理科学引用本文复制引用
刘成森,王德真,刘天伟,王艳辉..半圆形容器等离子体源离子注入过程中离子动力学的两维PIC计算机模拟[J].物理学报,2008,57(10):6450-6456,7.基金项目
表面物理与化学国家重点实验室基金(批准号:913000460200606)资助的课题. （批准号:913000460200606）
