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外延气氛对SIMOX结构损伤的RBS分析

李金华

厦门大学学报(自然科学版Issue(z2)：64-66,3.
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厦门大学学报(自然科学版Issue(z2)：64-66,3.

外延气氛对SIMOX结构损伤的RBS分析

李金华1

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李金华..外延气氛对SIMOX结构损伤的RBS分析[J].厦门大学学报(自然科学版,1993,(z2):64-66,3.

厦门大学学报(自然科学版

OA北大核心CSCD

0438-0479

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