硅酸盐通报2005，Vol.24Issue(6)：64-66,3.
乙烯掺杂对硅薄膜沉积速率和形貌的影响
Effects of Ethylene doping on Deposition Rate and Surface Profile of Silicon Films
朱建强 1刘涌 1王靖 1詹宝华 1宋晨路 1韩高荣1
作者信息
- 1. 浙江大学无机非金属材料研究所,杭州,310000
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摘要
关键词
APCVD/硅薄膜/乙烯掺杂/AFM/FTIR分类
化学化工引用本文复制引用
朱建强,刘涌,王靖,詹宝华,宋晨路,韩高荣..乙烯掺杂对硅薄膜沉积速率和形貌的影响[J].硅酸盐通报,2005,24(6):64-66,3.
