金刚石与磨料磨具工程Issue(5)：64-67,4.
合金薄膜铜衬底抛光质量对薄膜表面结构的影响
Effect of polished surface on the structure of alloy film with copper substrate
摘要
关键词
合金薄膜/研磨/抛光分类
矿业与冶金引用本文复制引用
张克华,文东辉,陶黎,袁巨龙..合金薄膜铜衬底抛光质量对薄膜表面结构的影响[J].金刚石与磨料磨具工程,2007,(5):64-67,4.基金项目
机械制造及自动化教育部重点实验室开放基金项目(56310202019)方面提供的数据. （56310202019）
