信息与电子工程2003，Vol.1Issue(1)：64-68,5.
硅微加速度传感器的对称梁岛结构设计
Design of Symmetric Beam-Mass Structure in Micro Silicon Acceleration Sensor
陈光焱 1苏伟 1何晓平1
作者信息
- 1. 中国工程物理研究院,电子工程研究所,四川,绵阳,621900
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陈光焱,苏伟,何晓平..硅微加速度传感器的对称梁岛结构设计[J].信息与电子工程,2003,1(1):64-68,5.
