排灌机械2007，Vol.25Issue(4)：64-68,5.
基于MEMS的压电泵及其研究进展
Progress on piezoelectric micropump based on MEMS
何秀华 1张睿 1蒋权英1
作者信息
- 1. 江苏大学,能源与动力工程学院,江苏,镇江,212013
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摘要
关键词
压电泵/微电子机械系统/压电振子/单腔体/多腔体/压电晶体分类
机械制造引用本文复制引用
何秀华,张睿,蒋权英..基于MEMS的压电泵及其研究进展[J].排灌机械,2007,25(4):64-68,5.基金项目
江苏省高校自然科学研究计划项目(04KJB470026) （04KJB470026）
