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直流磁控溅射有机衬底和玻璃衬底ZnO:Al薄膜结构特性

张具琴 马康 王海燕 王子建

可再生能源2008,Vol.26Issue(4):64-68,72,6.
可再生能源2008,Vol.26Issue(4):64-68,72,6.

直流磁控溅射有机衬底和玻璃衬底ZnO:Al薄膜结构特性

ZnO:Al films deposition on organic and glass substrate by DC magnetron puttering

张具琴 1马康 2王海燕 2王子建2

作者信息

  • 1. 黄河科技大学信息工程学院电子系,河南,郑州,450052
  • 2. 郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室,河南,郑州,450052
  • 折叠

摘要

关键词

有机衬底/ZnO:Al/晶化

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

张具琴,马康,王海燕,王子建..直流磁控溅射有机衬底和玻璃衬底ZnO:Al薄膜结构特性[J].可再生能源,2008,26(4):64-68,72,6.

可再生能源

OA北大核心CSTPCD

1671-5292

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