可再生能源2008,Vol.26Issue(4):64-68,72,6.
直流磁控溅射有机衬底和玻璃衬底ZnO:Al薄膜结构特性
ZnO:Al films deposition on organic and glass substrate by DC magnetron puttering
张具琴 1马康 2王海燕 2王子建2
作者信息
- 1. 黄河科技大学信息工程学院电子系,河南,郑州,450052
- 2. 郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室,河南,郑州,450052
- 折叠
摘要
关键词
有机衬底/ZnO:Al/晶化分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张具琴,马康,王海燕,王子建..直流磁控溅射有机衬底和玻璃衬底ZnO:Al薄膜结构特性[J].可再生能源,2008,26(4):64-68,72,6.